|
Фамилия, Имя, Отчество | Смертин Руслан Маратович |
Диссертация |
Кандидатская диссертация:Многослойные зеркала для безмасочной и проекционной рентгеновской литографии |
Диссертационный совет | 24.1.238.02 |
Научная специальность |
1.3.2 – Приборы и методы экспериментальной физики |
Дата защиты | 02.10.25 |
Статус | 26.06.25 - Принята к защите |
Фамилия, Имя, Отчество | Забавичев Илья Юрьевич | |
Диссертация |
Кандидатская диссертация: Отклик носителей заряда в Si и GaAs наноразмерных структурах на нейтронное воздействие с учетом динамики вторичных процессов дефектообразования и ионизации |
|
Диссертационный совет | 24.1.238.02 | |
Научная специальность |
2.2.2. - Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств место работы |
|
Дата защиты |
|
|
Статус |
|