Академик РАН
С.В. Гапонов
1937-2024
С.В. Гапонов
1937-2024
Институт физики микроструктур РАН
- филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН)
|
Диссертации на рассмотрении
Совет 24.1.238.02
| Фамилия, Имя, Отчество | Смертин Руслан Маратович |
| Диссертация |
Кандидатская диссертация:Многослойные зеркала для безмасочной и проекционной рентгеновской литографии |
| Диссертационный совет | 24.1.238.02 |
| Научная специальность |
1.3.2 – Приборы и методы экспериментальной физики |
| Дата защиты |
|
| Статус | 17.06.25 - Текст диссертации размещён в сети Интернет |
Подробнее >>>