Отдел многослойной рентгеновской оптики, 130
Меню
EN

Институт физики микроструктур РАН

- филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН)

EN

Институт физики микроструктур РАН

- филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН)

Отдел многослойной рентгеновской оптики (130)

Отдел многослойной рентгеновской оптики, 130

Революционное значение для рентгеновской оптики имеет создание в начале 80-х годов 20 века практически одновременно в США и в СССР технологии изготовления многослойных рентгеновских зеркал, представляющих собой, в общем случае, многослойные системы тонких пленок различных материалов, нанесенных на подложки с различной формой поверхности. За цикл работ в области многослойной рентгеновской оптики в 1991 году была присуждена Госпремия СССР. За последующие почти 20 лет область применения многослойной оптики многократно расширилась и большинство методов традиционной оптики (коллимация, фокусировка, построение изображений, поляризация излучения) стали доступными и для спектральной области экстремального ультрафиолетового и рентгеновского излучения. Т. е. появились возможности управления пространственными, угловыми, поляризационными характеристиками пучков рентгеновского излучения, получать изображение в рентгеновском диапазоне с дифракционным пространственным разрешением. По сути, мы стоим на пороге нового технологического скачка, связанного с освоением коротковолнового диапазона длин волн. И, хотя ряд проблем на этом пути еще предстоит решить, этот диапазон интенсивно осваивается. Во многом современное состояние дел в области многослойной оптики связано с работами коллектива исследователей из ИФМ РАН, одного из мировых лидеров в области физики и технологии изготовления многослойных металлических наноструктур.



Структура

Заведующий отделом

Чхало Николай Иванович
д.ф.-м.н.
Тел.: (831) 417−94−75

Сотрудники

Садова Елена Николаевна
Ведущий технолог,
Тел.: (831) 417−94−76 (+522)

Лаборатория коротковолновой прецизионной оптики и перспективного приборостроения (131)

Чхало Николай Иванович
д.ф.-м.н.
Тел.: (831) 417−94−75
Барышева Мария Михайловна
н.с., к. ф.-м. н.
Тел.: (831) 417−94−89 (+122)
e-mail: maria@ipmras.ru
Дмитриев Дмитрий Сергеевич
Инженер-конструктор,
Тел.: (831) 417−94−76 (+337)
Забродин Игорь Гарриевич
Вед. технолог,
Тел.: (831) 438−56−03 (+154)
Зорина Мария Владимировна
н.с.,
Тел.: (831) 417−94−89 (+122, +520)
e-mail: mzor@ipmras.ru
Малышев Илья Вячеславович
с.н.с., к.ф.-м.н.
Тел.: (831) 417−94−76 (+120, +131)
Михайленко Михаил Сергеевич
м.н.с.,
Тел.: (831) 417−94−76 (+119, +175)
Нечай Андрей Николаевич
с.н.с.,
Тел.: (831) 417−94−76 (+156)
Смертин Руслан Маратович
м.н.с.,
Тел.: (831) 417−94−86 (+122, +329)
Торопов Михаил Николаевич
н.с.,
Тел.: (831) 438−53−13 (+127)
Чхало Елена Дмитриевна
Вед. технолог,
Тел.: (831) 417−94−90
e-mail: edc@ipmras.ru
Уласевич Борис Александрович
Вед. инженер-конструктор,
Тел.: (831) 417−94−76 (+337)
Гарахин Сергей Александрович
н.с., к.ф.-м.н.
Тел.: (831) 417−94−76 (+127)
Петрова Дарья Вадимовна
н.с.,
Тел.: (831) 417−94−76 (+120)
Пирогов Александр Владимирович
Технолог 1 кат.,
Тел.: (831) 417−94−94 (+334, +535)
Плешков Роман Сергеевич
н.с.,
Тел.: (831) 417−94−85 (+127)
Реунов Дмитрий Георгиевич
м.н.с., инженер,
Тел.: (831) 417−94−76 (+120, +131)

Лаборатория физики и технологии многослойных структур (132)

Полковников Владимир Николаевич
Заведующий лабораторией, к.ф.-м. н
Тел.: (831) 417−94−76 +127
Вайнер Юлий Аркадьевич
Вед. технолог,
Тел.: (831) 438−53−13 (+156)
Зуев Сергей Юрьевич
с.н.с., к.ф.м.н
Тел.: (831) 417−94−76 (+132)
e-mail: zuev@ipmras.ru
Короткова Наталья Адольфовна
Вед. технолог,
Тел.: (831) 438−56−03 (+123)
Антюшин Евгений Сергеевич
Вед. технолог,
Тел.: (831) 417−94−76 (+127)
Уласевич Борис Александрович
Вед. инженер-конструктор,
Тел.: (831) 417−94−76 (+337)
Чернышев Алексей Константинович
м.н.с.,
Тел.: (831) 417−94−76 (+119, +175)
Вепрев Павел Александрович
Вед. инженер-конструктор,
e-mail: 7315493@mail.ru

Лаборатория методов прецизионной обработки рентгенооптических материалов (133)

Пестов Алексей Евгеньевич
Заведующий лабораторией, к. ф.-м. н.
Ахсахалян Антон Арамович
Вед. технолог,
Тел.: (831) 417−94−76 (+521)
e-mail: makh@ipmras.ru
Ахсахалян Арам Давидович
Вед. технолог, к. ф.-м. н.
Тел.: (831) 417−94−76 (+123)
e-mail: akh@ipmras.ru
Лопатин Алексей Яковлевич
н.с.,
Тел.: (831) 417−94−76 (+123)
Лучин Валерий Иванович
с.н.с., к. ф.-м. н.
Тел.: (831) 417−94−76 (+123)
Тарабарин Николай Владимирович
Вед. технолог,
Тел.: (831) 417−94−76 (+123)
Чернышев Алексей Константинович
м.н.с.,
Тел.: (831) 417−94−76 (+119, +175)
Клюенков Евгений Борисович
с.н.с., к. ф.-м. н.
Тел.: (831) 417−94−76 (+125)


Проекты, результаты


Оборудование

  • 8 установок магнетронного напыления
  • 3 установки ионно-пучкового травления
  • 2 рефлектометра со спектрометром-монохроматором РСМ-500
  • Рефлектометр с монохроматором на основе схемы Черни-Тёрнера
  • 2 Рентгеновских дифрактометра Philips X'Pert PRO
  • Интерферометры с дифракционной волной сранения

Публикации

Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало. Развитие многослойной рентгеновской оптики и применение в физических экспериментах и научном приборостроении в ИФМ РАН
Скачать pdf, 2.5 MB

Н. Н. Салащенко. Мы — другие
Скачать pdf, 419.3 KB



Chkhalo, N.I. High reflective Mo/Be/Si multilayers for the EUV lithography / N. Chkhalo, S. Gusev, A. Nechay, D. Pariev, V. Polkovnikov, N. Salashchenko, F. Schäfers, M. Sertsu, A. Sokolov, M. Svechnikov, and D. Tatarsky. High reflective Mo/Be/Si multilayers for the EUV lithography // Optics Letters (2017) (направлена в печать).

Chkhalo, N.I. Be-based multilayers for EUV spectral range / N.I. Chkhalo, D.A. Gaman, A.N. Nechay, D.G. Pariev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, F. Schaefers, M.G. Sertsu, A. Sokolov, M.V. Svechnikov, S.Yu. Zuev // The PTB Seminar VUV and EUV Metrology. Berlin, Germany (2017)

Sertsu, M.G. Nanoscale Mo/Be/Si Multilayer Structures for EUV Lithography application / M.G. Sertsu, F. Schäfers, A. Sokolov, N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, A.N. Nechay, D.E. Pariev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Svechnikov, D.A. Tatarsky // The Frontier of optical coating (FOC). Guangzhou, China. Sun Yat-sen University (2017)