Институт физики микроструктур РАН
- филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН)
|
Отдел многослойной рентгеновской оптики, 130
Революционное значение для рентгеновской оптики имеет создание в начале 80-х годов 20 века практически одновременно в США и в СССР технологии изготовления многослойных рентгеновских зеркал, представляющих собой, в общем случае, многослойные системы тонких пленок различных материалов, нанесенных на подложки с различной формой поверхности. За цикл работ в области многослойной рентгеновской оптики в 1991 году была присуждена Госпремия СССР. За последующие почти 20 лет область применения многослойной оптики многократно расширилась и большинство методов традиционной оптики (коллимация, фокусировка, построение изображений, поляризация излучения) стали доступными и для спектральной области экстремального ультрафиолетового и рентгеновского излучения. Т. е. появились возможности управления пространственными, угловыми, поляризационными характеристиками пучков рентгеновского излучения, получать изображение в рентгеновском диапазоне с дифракционным пространственным разрешением. По сути, мы стоим на пороге нового технологического скачка, связанного с освоением коротковолнового диапазона длин волн. И, хотя ряд проблем на этом пути еще предстоит решить, этот диапазон интенсивно осваивается. Во многом современное состояние дел в области многослойной оптики связано с работами коллектива исследователей из ИФМ РАН, одного из мировых лидеров в области физики и технологии изготовления многослойных металлических наноструктур.
Материалы, подготовленные к двадцатилетию института
Структура
Заведующий отделом
Чхало Николай Иванович
Заведующий лабораторией, д. ф.-м. н.
Тел.: (831) 417−94−75
e-mail: chkhalo@ipmras.ru
Сотрудники
Лаборатория коротковолновой прецизионной оптики и перспективного приборостроения (131)
Чхало Николай Иванович
Заведующий лабораторией, д. ф.-м. н.
Тел.: (831) 417−94−75
e-mail: chkhalo@ipmras.ru
Малышев Илья Вячеславович
Старший научный сотрудник, к.ф.-м.н.
Тел.: 417−94−76 (120,131)
e-mail: ilya-malyshev@ipmras.ru
Уласевич Борис Александрович
вед. инж.-констр,
Лаборатория физики и технологии многослойных структур (132)
Полковников Владимир Николаевич
зав. лаб., к. ф.-м. н
Тел.: (831) 417−94−76 +127
e-mail: polkovnikov@ipmras.ru
Лаборатория методов прецизионной обработки рентгенооптических материалов
Проекты, результаты
Многослойные зеркала на основе бериллия для ЭУФ диапазона (λ=11.1−30.4 нм)
Лазерно-плазменный источник рентгеновского излучения на основе ксенона
Широкополосные зеркала для ВУФ-диапазона на основе многослойных стековых структур
Коррекция низкочастотных шероховатостей высокоточных оптических деталей малоразмерным ионным пучком
Оборудование
- 8 установок магнетронного напыления
- 3 установки ионно-пучкового травления
- 2 рефлектометра со спектрометром-монохроматором РСМ-500
- Рефлектометр с монохроматором на основе схемы Черни-Тёрнера
- 2 Рентгеновских дифрактометра Philips X'Pert PRO
- Интерферометры с дифракционной волной сранения
Публикации
Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало. Развитие многослойной рентгеновской оптики и применение в физических экспериментах и научном приборостроении в ИФМ РАН
Скачать
pdf, 2.5 MB
Н. Н. Салащенко. Мы — другие
Скачать
pdf, 419.3 KB
Chkhalo, N.I. High reflective Mo/Be/Si multilayers for the EUV lithography / N. Chkhalo, S. Gusev, A. Nechay, D. Pariev, V. Polkovnikov, N. Salashchenko, F. Schäfers, M. Sertsu, A. Sokolov, M. Svechnikov, and D. Tatarsky. High reflective Mo/Be/Si multilayers for the EUV lithography // Optics Letters (2017) (направлена в печать).
Chkhalo, N.I. Be-based multilayers for EUV spectral range / N.I. Chkhalo, D.A. Gaman, A.N. Nechay, D.G. Pariev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, F. Schaefers, M.G. Sertsu, A. Sokolov, M.V. Svechnikov, S.Yu. Zuev // The PTB Seminar VUV and EUV Metrology. Berlin, Germany (2017)
Sertsu, M.G. Nanoscale Mo/Be/Si Multilayer Structures for EUV Lithography application / M.G. Sertsu, F. Schäfers, A. Sokolov, N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, A.N. Nechay, D.E. Pariev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Svechnikov, D.A. Tatarsky // The Frontier of optical coating (FOC). Guangzhou, China. Sun Yat-sen University (2017)