Институт физики микроструктур РАН
- филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН)
|
Заведующий отделом многослойной рентгеновской оптики ИФМ РАН Николай Иванович Чхало на обложке журнала "Поиск-НН"
22.01.2025
В статье наши коллеги рассказали про новую концепцию развития высокопроизводительной рентгеновской литографии в России.
Она позволит создать в стране собственные нанолитографические установки для производства микрочипов по современным мировым технологическим нормам.
Подробнее читайте в журнале "Поиск-НН"