Институт физики микроструктур РАН
- филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН)
|
О разработке российского рентгеновского EUV-литографа
21.03.2023
В Национальном центре физики и математики (НЦФМ,г.Саров) состоялся научный семинар, посвященный EUV-литографии и перспективам создания отечественного EUV-литографа для микроэлектроники. Заведующий отделом многослойной рентгеновской оптики Института физики микроструктур РАН Н.И. Чхало рассказал о существующих в России заделах развития данного направления, промежуточных результатах проводимых НИОКР и планах дальнейшего развития работ.Полная версия статьи и ссылка на научный семинар
https://www.atomic-energy.ru/news/2023/03/15/133578