Пестов Алексей Евгеньевич

Зав. лабораторией 133 (отд. 130), к. ф.-м. н.

Персональные данные

Родился 26.04.1980 г., г. Горький
кандидат физ.-мат. наук

Научные интересы

Многослойная рентгеновская оптика, литография экстремального ультрафиолетового диапазона, ионное травление, асферизация/коррекция формы, шероховатость.

Образование

• 1986 — 1990 — школа № 35
• 1990 — 1995 — школа № 29
• 1995 — 1997 — школа-лицей № 40
• 1997 — 2003 — Радиофизический факультет Нижегородского государственного университета им. Н. И. Лобачевского;
• 1999 — 2004 — Экономический факультет Нижегородского государственного университета им. Н. И. Лобачевского;
• 2006 — кандидатская диссертация «Развитие диагностических методов для задач проекционной литографии 13,5 нм», научные руководители — член-корр. РАН, д.ф.-м.н. Н. Н. Салащенко, к.ф.-м.н. Н. И. Чхало;

Профессиональная карьера

• 2000 — 2003 — старший лаборант-исследователь Института физики микроструктур РАН;
• 2003 — 2006 — аспирант Института физики микроструктур РАН;
• 2003 — 2007 — младший научный сотрудник Института физики микроструктур РАН;
• 2007 — 2012 — научный сотрудник Института физики микроструктур РАН;
• 2012 — н/вр — старший научный сотрудник Института физики микроструктур РАН;
• 2020 — н/вр — заведующий лабораторией методов прецизионной обработки рентгенооптических материалов Института физики микроструктур РАН;

Педагогическая деятельность и научное руководство курсовыми и дипломными работами

• 2007 — 2012 — проведение учебно-научного эксперимента «Многослойная рентгеновская оптика мягкого диапазона» для студентов 3 курса базовой кафедры «Физика наноструктур и наноэлектроника».
• 2011 — Храмков Роман Александрович. Магистерская диссертация (диплом 6 курс) «Изучение влияния ионно-пучкового травления на шероховатость поверхности материалов для рентгенооптики»
• 2019 — Михайленко Михаил Сергеевич. Выпускная квалификационная работа студента 2 курса магистратуры (диплом 6 курс) «Изучение коэффициентов физического распыления и эволюции поверхности аморфных однокомпонентных материалов»
• 2021 — Чернышев Алексей Константинович. Выпускная квалификационная работа студента 2 курса магистратуры (диплом 6 курс) «Методы расчета ионно-пучковой обработки оптических поверхностей»

Избранные публикации последних 5-ти лет

• Лопатин, А.Я. Конверсия энергии электронов в ЭУФ излучение BeKα линии в “прострельной” геометрии / А.Я. Лопатин, Д.Е. Парьев, А.Е. Пестов, Н.И. Чхало, Н.Н. Салащенко, Г.Д. Дёмин, Н.А. Дюжев, М.А. Махиборода, А.А. Кочетков // ЖЭТФ. – 2018. – т.154, вып. 6 (12). – стр. 1067–1076. Impact factor = 1.119
  
• Svechnikov, M. V. Influence of barrier interlayers on the performance of Mo/Be multilayer mirrors for next-generation EUV lithography / M. V. Svechnikov, N. I. Chkhalo, S.A. Gusev, A. N. Nechay, D.E. Pariev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, D.A. Tatarskiy, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, M.G. Sertsu, A. Sokolov, Y.A. Vainer, M.V. Zorina // Optics Express – 2018. – V.26.No.26. – P.33718-33731. (https://doi.org/10.1364/OE.26.033718; Impact factor: 3.356) (Q1)
• Toropov, M.N. A double-stream Xe:He jet plasma emission in the vicinity of 6.7 nm / N. I. Chkhalo, S. A. Garakhin, S. V. Golubev, A. Ya. Lopatin, A. N. Nechay, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, M.N. Toropov, N. N. Tsybin, A. V. Vodopyanov, and S. Yulin //  Appl. Phys. Lett. – v.112. – 221101 (2018); doi: 10.1063/1.5016471 (Q1)
• Chkhalo, N.I. Polishing the surface of a z-cut KDP crystal by neutralized argon ions / N.I. Chkhalo, A.V. Kirsanov, G.A. Luchinin, O.A. Malshakova, M.S. Mikhailenko, A.I. Pavlikov, A.E. Pestov, M.V. Zorina // Applied Optics, Vol. 57, Issue 24, pp. 6911-6915 (2018). (https://doi.org/10.1364/AO.57.006911; Impact factor: 1.791) (Q1)
• Chkhalo, N.I. Ultrasmooth beryllium substrates for solar astronomy in extreme ultraviolet wavelengths / N.I. Chkhalo, M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, M.V. Zorina, S.Yu. Zuev, D.S. Kazakov, A.V. Milkov, I.L. Strulya, V.A. Filichkina, and A.S. Kozlov // Applied Optics, Vol. 58, Issue 13, pp. 3652-3658 (2019). (https://doi.org/10.1364/AO.58.003652; Impact factor: 1.791) (Q1)
• Barysheva, M.M. X-ray scattering by the fused silica surface etched by low-energy Ar ions / M.M. Barysheva, N.I. Chkhalo, M.N. Drozdov, M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer, P.A. Yunin, M.V. Zorina // Journal of X-Ray Science and Technology. – 2019. – vol. 27, no. 5. – pp. 857-870. (DOI: 10.3233/XST-190495; Impact factor: 1.662)
• Чхало, Н.И. Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения / Н.И. Чхало, И.В. Малышев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов // Успехи физических наук. – т.190. – № 1. – 2020. – С.74-91. (DOI: 10.3367/UFNr.2019.05.038601) Impact factor = 2.821
  
• Kuznetsov, I. Composite Yb:YAG/sapphire thin-disk active elements for high-energy high-average power lasers / I. Kuznetsov, A. Pestov, I. Mukhin, M. Volkov, M. Zorina, N. Chkhalo, and O. Palashov // Optics Letters. – Vol.45. – Issue 2. – 2020. – pp.387-390. (https://doi.org/10.1364/OL.384898) Impact Factor = 3.714 (Q1)
• Garakhin, S.A. High-resolution laboratory reflectometer for the study of x-ray optical elements in the soft and extreme ultraviolet wavelength ranges / S.A. Garakhin, N.I. Chkhalo, I.A. Kas’kov, A.Ya. Lopatin, I.V. Malyshev, A.N. Nechay, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Svechnikov, N.N. Tsybin, I.G. Zabrodin and S.Yu. Zuev // Review of Scientific Instruments. – v.91. – 2020. – 063103 (https://doi.org/10.1063/1.5144489, Impact factor: 1.523)
• Akhsakhalyan, A.A. Compact high-aperture interferometer with a diffractive reference wave for high-precision referenceless aberration measurements of optical elements and systems / A.A. Akhsakhalyan, N.I. Chkhalo, N. Kumar, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, B.A. Ulasevich, S.V. Kuzin // Precision Engineering. – 2021. – V.71. – P.330-339 (https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2021.05.011, Impact factor: 3.156) (Q1)
• Chernyshev, A. Matrix based algorithm for ion-beam figuring of optical elements / A. Chernyshev, N. Chkhalo, I. Malyshev, M. Mikhailenko, A. Pestov, R. Pleshkov, R. Smertin, M. Svechnikov, M. Toropov // Precision Engineering. – 2021. – V.69. – P.29-35 (https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2021.01.006, Impact factor: 3.156) (Q1)
• Mikhailenko, M.S. Miniature source of accelerated ions with focusing ion-optical system / M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, N.I. Chkhalo, L.A. Goncharov, A.K. Chernyshev, I.G. Zabrodin, I. Kaskov, P.V. Krainov, D.I. Astakhov, V.V. Medvedev // Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, A. – 2021. – v.1010. – 165554 (DOI: 10.1016/j.nima.2021.165554, Impact factor: 1.455) (Q1)
• Кузин, С.В. Солнечный телескоп вакуумного ультрафиолетового диапазона для наноспутников / С.В. Кузин, С.А. Богачев, Н.Ф. Ерхова, А.А. Перцов, И.П. Лобода, А.А. Рева, А.А. Холодилов, А.С. Ульянов, А.С. Кириченко, И.В. Малышев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, М.Н. Торопов, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало, В.А. Крюковский, В.Н. Горев, А.А. Дорошкин, А.М. Задорожный, В.Ю. Прокопьев // Журнал технической физики. – 2021. – т.91. – вып.10. – с.1441-1447. (DOI: 10.21883/JTF.2021.10.51355.115-21, Impact factor: 0.654)
• Mikhailenko, M.S. Influence of ion-beam etching by Ar ions with an energy of 200–1000 eV on the roughness and sputtering yield of a single-crystal silicon surface / M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, N.I. Chkhalo, M.V. Zorina, A.K. Chernyshev, N.N. Salashchenko, I.I. Kuznetsov // Applied Optics. – Vol. 61. – Issue 10. – pp. 2825-2833 (2022) (DOI: 10.1364/AO.455096, Impact factor: 1.980)
• Зорина, М.В. Алмаз-карбид-кремниевый композит “скелетон” как перспективный материал для подложек рентгенооптических элементов / М.В. Зорина, М.С. Михайленко, А.Е. Пестов, М.Н. Торопов, А.К. Чернышев, Н.И. Чхало, С. К. Гордеев, В.В. Виткин // Журнал технической физики. – 2022. – т.92. – вып.8. – с.1238-1242. (DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52790.85-22, Impact factor: 0.654)
  
• Kumar, N. Raman scattering studies of low energy Ar+ ion implanted monocrystalline silicon for synchrotron applications / N. Kumar, V.A. Volodin, S.V. Goryainov, A.K. Chernyshev, A.T. Kozakov, A.A. Scrjabin, N.I. Chkhalo, M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, M.V. Zorina // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. – 2023. – v.534. – p.97–102.
  

Контактная информация