Пестов Алексей Евгеньевич

Зав. лабораторией 133 (отд. 130), к.ф.-м.н.

Персональные данные

Родился 26.04.1980 г., г. Горький
кандидат физ.-мат. наук

Научные интересы

Многослойная рентгеновская оптика, литография экстремального ультрафиолетового диапазона, ионное травление, асферизация/коррекция формы, шероховатость.

Образование

• 1986 — 1990 — школа № 35
• 1990 — 1995 — школа № 29
• 1995 — 1997 — школа-лицей № 40
• 1997 — 2003 — Радиофизический факультет Нижегородского государственного университета им. Н. И. Лобачевского;
• 1999 — 2004 — Экономический факультет Нижегородского государственного университета им. Н. И. Лобачевского;
• 2006 — кандидатская диссертация «Развитие диагностических методов для задач проекционной литографии 13,5 нм», научные руководители — член-корр. РАН, д.ф.-м.н. Н. Н. Салащенко, к.ф.-м.н. Н. И. Чхало;

Профессиональная карьера

• 2000 — 2003 — старший лаборант-исследователь Института физики микроструктур РАН;
• 2003 — 2006 — аспирант Института физики микроструктур РАН;
• 2003 — 2007 — младший научный сотрудник Института физики микроструктур РАН;
• 2007 — 2012 — научный сотрудник Института физики микроструктур РАН;
• 2012 — н/вр — старший научный сотрудник Института физики микроструктур РАН;
• 2020 — н/вр — заведующий лабораторией методов прецизионной обработки рентгенооптических материалов Института физики микроструктур РАН;

Педагогическая деятельность и научное руководство

• 2007 — 2012 — проведение учебно-научного эксперимента «Многослойная рентгеновская оптика мягкого диапазона» для студентов 3 курса базовой кафедры «Физика наноструктур и наноэлектроника».
• 2011 — Храмков Роман Александрович. Магистерская диссертация (диплом 6 курс) «Изучение влияния ионно-пучкового травления на шероховатость поверхности материалов для рентгенооптики»
• 2019 — Михайленко Михаил Сергеевич. Выпускная квалификационная работа студента 2 курса магистратуры (диплом 6 курс) «Изучение коэффициентов физического распыления и эволюции поверхности аморфных однокомпонентных материалов»
• 2021 — Чернышев Алексей Константинович. Выпускная квалификационная работа студента 2 курса магистратуры (диплом 6 курс) «Методы расчета ионно-пучковой обработки оптических поверхностей»
• 2024 и 2026 г. ПИШ при ННГУ, Чтение лекций в рамках курсов: 1. Рентгеновская оптика 2. Рентгеновская литография
• 2024 — Михайленко Михаил Сергеевич. Диссертация к.ф.-м.н. «Разработка аппаратуры и методов ионно-пучкового травления для получения высокоточных элементов рентгеновской оптики»
• 2026 — Чернышев Алексей Константинович. Диссертация к.ф.-м.н. «Развитие ионно-пучковых методов формирования высокоточных поверхностей для рентгеновской оптики»

Избранные публикации последних 5-ти лет

• Akhsakhalyan, A.A. Compact high-aperture interferometer with a diffractive reference wave for high-precision referenceless aberration measurements of optical elements and systems / A.A. Akhsakhalyan, N.I. Chkhalo, N. Kumar, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, B.A. Ulasevich, S.V. Kuzin // Precision Engineering. – 2021. – V.71. – P.330-339 (https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2021.05.011, Impact factor: 3.156) (Q1)
• Chernyshev, A. Matrix based algorithm for ion-beam figuring of optical elements / A. Chernyshev, N. Chkhalo, I. Malyshev, M. Mikhailenko, A. Pestov, R. Pleshkov, R. Smertin, M. Svechnikov, M. Toropov // Precision Engineering. – 2021. – V.69. – P.29-35 (https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2021.01.006, Impact factor: 3.156) (Q1)
• Mikhailenko, M.S. Miniature source of accelerated ions with focusing ion-optical system / M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, N.I. Chkhalo, L.A. Goncharov, A.K. Chernyshev, I.G. Zabrodin, I. Kaskov, P.V. Krainov, D.I. Astakhov, V.V. Medvedev // Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, A. – 2021. – v.1010. – 165554 (DOI: 10.1016/j.nima.2021.165554, Impact factor: 1.455) (Q1)
• Кузин, С.В. Солнечный телескоп вакуумного ультрафиолетового диапазона для наноспутников / С.В. Кузин, С.А. Богачев, Н.Ф. Ерхова, А.А. Перцов, И.П. Лобода, А.А. Рева, А.А. Холодилов, А.С. Ульянов, А.С. Кириченко, И.В. Малышев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, М.Н. Торопов, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало, В.А. Крюковский, В.Н. Горев, А.А. Дорошкин, А.М. Задорожный, В.Ю. Прокопьев // Журнал технической физики. – 2021. – т.91. – вып.10. – с.1441-1447. (DOI: 10.21883/JTF.2021.10.51355.115-21, Impact factor: 0.654)
• Mikhailenko, M.S. Influence of ion-beam etching by Ar ions with an energy of 200–1000 eV on the roughness and sputtering yield of a single-crystal silicon surface / M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, N.I. Chkhalo, M.V. Zorina, A.K. Chernyshev, N.N. Salashchenko, I.I. Kuznetsov // Applied Optics. – Vol. 61. – Issue 10. – pp. 2825-2833 (2022) (DOI: 10.1364/AO.455096, Impact factor: 1.980)
• Зорина, М.В. Алмаз-карбид-кремниевый композит “скелетон” как перспективный материал для подложек рентгенооптических элементов / М.В. Зорина, М.С. Михайленко, А.Е. Пестов, М.Н. Торопов, А.К. Чернышев, Н.И. Чхало, С. К. Гордеев, В.В. Виткин // Журнал технической физики. – 2022. – т.92. – вып.8. – с.1238-1242. (DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52790.85-22, Impact factor: 0.654)
  
• Kumar, N. Raman scattering studies of low energy Ar+ ion implanted monocrystalline silicon for synchrotron applications / N. Kumar, V.A. Volodin, S.V. Goryainov, A.K. Chernyshev, A.T. Kozakov, A.A. Scrjabin, N.I. Chkhalo, M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, M.V. Zorina // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. – 2023. – v.534. – p.97–102.
  
• Malyshev, I.V. High-aperture EUV microscope using multilayer mirrors and a 3D reconstruction algorithm based on z-tomography / I.V. Malyshev, D.G. Reunov, N.I. Chkhalo, M.N. Toropov, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Tsybin, A.Ya. Lopatin, A.K. Chernyshev, M.S. Mikhailenko, R.M. Smertin, R.S. Pleshkov, O.M. Shirokova // Optics Express – 2022. – V.30. - No.26. – P.47567-47586. (DOI: 10.1364/OE.475032; Impact factor: 3.833)
• Pestov, A.E. The diamond–silicon carbide composite Skeleton® as a promising material for substrates of intense X-ray beam optics / A.E. Pestov, A.Ya. Lopatin, P.V. Volkov, M.V. Zorina,a A.Yu. Lukyanov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhailenko, M.N. Toropov, D.A. Semikov, A.K. Chernyshev, N.I. Chkhalo, P.A. Yunin, E.I. Glushkov, S.K. Gordeev, S.B. Korchagina // Journal of Synchrotron Radiation. – 2024. – V.31. – No.5. – P.1179-1188. (DOI: 10.1107/S1600577524006088)
• Mikhailenko, M.S. Microstructure of the subsurface layer formed in monocrystalline silicon during etching with Xe+ ions investigation / M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, A.K. Chernyshev, N.I. Chkhalo, A.N. Orlova, M.V. Zorina, N. Kumar, S.V. Goryainov, V.A. Volodin, A.A. Nazarov // J. Vac. Sci. Technol. A. – 2025 – v.43 – 062602; (DOI: 10.1116/6.0004851)
• Perekalov, A.A. Microscope for investigating the size of an EUV radiation source emitting at 11.2 nm / A.A. Perekalov, N.I. Chkhalo, V.E. Guseva, I.V. Malyshev, A.N. Nechay, A.E. Pestov, D.G. Reunov, R.M. Smertin, M.N. Toropov, N.N. Tsybin // Measurement Science and Technology. – 2025. – V. 36. – N. 10. – 105415. (DOI: 10.1088/1361-6501/ae0cec)

Контактная информация