Чхало Николай Иванович

Заведующий отделом 130, д. ф.-м. н.

Персональные данные

Родился 1 февраля 1962 года в г. Каргат, Новосибирской обл.

Научные интересы

Рентгеновская оптика, физика поверхности и тонких пленок, оптическая интерферометрия, источники рентгеновского излучения, проекционная литография. Опубликовано более 300 публикаций в научных журналах.

Образование

Физико-технический факультет Новосибирского электротехнического института, кафедра Электрофизические установки и ускорители.

Профессиональная карьера

• 1979−1985 — учеба в институте.
• 1983−1985 — лаборант физической лаборатории Института ядерной физики СО АН.
• 1985−2000 — стажер-исследователь, инженер, научный сотрудник и старший научный сотрудник Института ядерной физики СО РАН
• В 1996 защитил диссертацию на ученую степень кандидата физико-математических наук «Многослойные рентгеновские зеркала для диагностики плазмы» по специальности 01.04.01-техника физического эксперимента, физика приборов, автоматизация физических исследований
• 2001−2008 старший научный сотрудник Института физики микроструктур РАН
• 2008 исполняющий обязанности заведующего лаборатории
• 2009 и по настоящее время заведующий лаборатории
• 2015 и по настоящее время заведующий отделом
• 2015-2018 зам. директора  по научно-технологического развития
• В 2008 г. за серию работ «Развитие многослойной рентгеновской оптики и применение в физических экспериментах и научном приборостроении» удостоен премии им. А. Г. Столетова.
• В 2009 защитил диссертацию на ученую степень доктора физико-математических наук «Методы диагностики структурных и дисперсионных свойств многослойных рентгеновских зеркал» по специальности 01.04.01 – приборы и методы экспериментальной физики
• В 2021 Медаль «За вклад в реализацию государственной политики в области научно-технологического развития»

Избранные публикации.

1. 1. Chkhalo N.I., Fedorchenko M.V., Kovalenko N.V., Kruglyakov E.P., Volokhov A.I., Chernov V.A., Mytnichenko S.V. Status of X-ray mirror optics at the Siberian SR Centre. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. A 359. 1995. P. 121-126.
   2. Andreev S.S.,  Akhsakhalyan A.D., Bibishkin M.S., Chkhalo N.I., Gaponov S.V., Gusev S.A., Kluenkov E.B., Prokhorov K.A., Salashchenko N.N., Schafers F., Zuev S. Yu..  Multilayer optics for XUV spectral region: technology fabrication and applications. Central European Journal of Physics. CEJP 1. 2003. P. 191-209.
   3. N.I. Chkhalo, A.Yu. Klimov, V.V. Rogov, N.N. Salashchenko, and M.N. Toropov. A source of a reference spherical wave based on a single mode optical fiber with a narrowed exit aperture. Rev. Sci. Instrum. V. 79. 033107. 2008.
   4. М.М. Барышева,А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало  М.М. Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов // Успехи физических наук. – т.182. – № 7. – 2012. – С.727-747.   
   5. N.I. Chkhalo, S. Künstner, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, F. Schäfers, S.D. Starikov. High performance La/B₄C multilayer mirrors with barrier layers for the next generation lithography. Appl. Phys. Lett. 2013. V.102. P.011602. https:// http://dx.doi.org/10.1063/1.4774298
   6. N. I. Chkhalo, S. A. Churin, A. E. Pestov, N.N. Salashchenko, Yu. A. Vainer, and M. V. Zorina. Roughness measurement and ion-beam polishing of super-smooth optical surfaces of fused quartz and optical ceramics. Optics Express, Vol. 22 Issue 17, pp.20094-20106 (2014).
   7. M. V. Svechnikov, N. I. Chkhalo, M. N. Toropov, and N. N. Salashchenko. Resolving capacity of the circular Zernike polynomials. Optics Express, Vol. 23 No. 11, pp.14677-14694 (2015). 
   8. M. N. Brychikhin, N. I. Chkhalo, Ya. O. Eikhorn, I. V. Malyshev, A. E. Pestov, Yu. A. Plastinin, V. N. Polkovnikov, A. A. Rizvanov, N. N. Salashchenko, I. L. Strulya, and M. N. Toropov. Reflective Schmidt–Cassegrain system for large-aperture telescopes. Applied Optics, V.55, Is.16, pp. 4430-4435 (2016). 
   9. N.I.  Chkhalo,  I.A. Kaskov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhaylenko, A.E.  Pestov,  V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, I.G. Zabrodin. High-performance facility and techniques for high-precision machining  of optical components by ion beams. Precision Engineering, v.48,  pp.338–346  (2017). (DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.precisioneng.2017.01.004)
   10. M. Svechnikov, D. Pariev, A. Nechay, N. Salashchenko, N. Chkhalo, Y. Vainer and D. Gaman. Extended model for the reconstruction of periodic multilayers from extreme ultraviolet and X-ray reflectivity data.  J. Appl. Cryst. 50, 1428-1440 (2017). https://doi.org/10.1107/S1600576717012286.
   11. N. Chkhalo, S. Gusev, A. Nechay, D.Pariev, V. Polkovnikov, N. Salashchenko, F. Schäfers, M. Sertsu, A. Sokolov, M. Svechnikov, and D. Tatarsky. High reflective Mo/Be/Si multilayers for the EUV lithography // Optics Letters/ Vol. 42,  Iss. 24, 5070-5073 (2017). https://doi.org/10.1364/OL.42.005070
   12. N. I. Chkhalo, S. A. Garakhin, S. V. Golubev, A. Ya. Lopatin, A. N. Nechay, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, M.N. Toropov, N. N. Tsybin, A. V. Vodopyanov, and S. Yulin. A double-stream Xe:He jet plasma emission in the vicinity of 6.7 nm.  Appl. Phys. Lett. 112, 221101 (2018); doi: 10.1063/1.5016471
   13. M. V. Svechnikov, N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, A. N. Nechay, D. E. Pariev, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, D. A. Tatarskiy, N. N. Salashchenko, F. Schafers, M. G. Sertsu, A. Sokolov, Y. A. Vainer,  and M. V. Zorina. Influence of barrier interlayers on the performance of Mo/Be multilayer mirrors for next-generation EUV lithography. Vol. 26, No. 26 ( 2018 ) Optics  Express 33718-33731.
   14. Alexey T. Kozakov, Niranjan Kumar, Sergei A. Garakhin, Vladimir N. Polkovnikov, Nikolay I. Chkhalo, Anatoly V. Nikolskii, Anton A. Scrjabin, Aleksey V. Nezhdanov, Pavel A. Yunin, Size-dependent plasmon effects in periodic W-Si- based mirrors, investigated by X-ray photoelectron spectroscopy. Applied Surface Science 566 (2021) 150616.  https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2021.150616
   15. Mikhail Toropov, Nikolay Chkhalo, Ilya Malyshev, and Nikolay Salashchenko. High-aperture low-coherence interferometer with a diffraction reference wave. Optics Letters Vol. 47, Issue 14, pp. 3459-3462 (2022). •https://doi.org/10.1364/OL.460708
   16. R. A. Shaposhnikov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, and S. Yu. Zuev. Highly reflective Ru/Sr multilayer mirrors for wavelengths 9–12 nm. Optics Letters Vol. 47, Issue 17, pp. 4351-4354 (2022) •https://doi.org/10.1364/OL.469260
   17. R. M. Smertin, N. I. Chkhalo, M. N. Drozdov, S. A. Garakhin, S. Yu. Zuev, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, and P. A. Yunin. Influence of Mo interlayers on the microstructure of layers and reflective characteristics of Ru/Be multilayer mirrors. Opt. Express 30(26), 46749-46761 (2022).
   18. I. V. MALYSHEV,D. G. REUNOV, N. I. CHKHALO, M. N. TOROPOV, A. E. PESTOV, V. N. POLKOVNIKOV, N. N. TSYBIN, A. YA. LOPATIN, A. K. CHERNYSHEV, M. S. MIKHAILENKO,R. M. SMERTIN, R. S. PLESHKOV, AND O. M. SHIROKOVA.  High-aperture EUV microscope using multilayer mirrors and a 3D reconstruction algorithm based on z-tomography. Vol. 30, No. 26 / 19 Dec 2022 / Optics Express 47567- 47586. https://doi.org/10.1364/OE.475032

Контактная информация