Институт физики микроструктур РАН
- филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН)
|
Оборудование отдела 130
8 установок магнетронного напыления
3 установки ионно-пучкового травления
2 рефлектометра со спектрометром-монохроматором РСМ-500
Рефлектометр с монохроматором на основе схемы Черни-Тёрнера
2 Рентгеновских дифрактометра Philips X'Pert PRO
Интерферометры с дифракционной волной сранения