Коррекция низкочастотных шероховатостей высокоточных оптических деталей малоразмерным ионным пучком

Разработана и реализована методика коррекции локальных ошибок формы поверхности оптических элементов мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов малоразмерным пучком ионов с энергией 200−1500 эВ. Фокусировка ионного пучка за счет ионно-оптической системы из двух сеток сферической формы в созданном специализированном источнике ионов позволила уменьшить размер пучка до 1,5 мм, увеличить скорость травления до 0,5 мкм/мин и расширить диапазон доступных для обработки пространственных частот до 1.3×10−3 мкм−1, что перекрывает весь диапазон низкочастотных шероховатостей. Управление пучком источника ионов по разработанному на основе матричного представления обрабатываемой поверхности алгоритму позволило в разы сократить полное время коррекции и расширить диапазон пространственных частот, поддающихся коррекции при заданном размере ионного пучка.



Фото и схема источника КЛАН-12М. 1 — источник; 2 — нейтрализатор; 3 -фокусирующая ИОС; 4 — охлаждаемый кожух; 5 — молибденовый экран.


Карта волновых аберраций объектива до и после ионно-пучковой коррекции формы и схема процедуры ионно-пучковой коррекции локальных ошибок формы малоразмерным ионным пучком

Авторы:

М.С. Михайленко, А.Е. Пестов, И. Г. Забродин, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало — ИФМ РАН

Л.А. Гончаров — НТК «Платар»

Публикации:

1. М. С. Михайленко и др. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 2019. — № 3. — С.19−24.

2. А. К. Чернышев и др. ЖТФ 89 (11), 1650 (2019).