Институт физики микроструктур РАН
- филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН)
|
Лабораторный рефлектометр высокого разрешения для экстремального УФ и мягкого рентгеновского диапазонов: «Настольный синхротрон»
На основе лазерно-плазменного источника излучения и монохроматора с плоской дифракционной решеткой по схеме Черни-Тернера разработан рефлектометр, предназначенный для прецизионных измерений характеристик рентгенооптических элементов. Рабочий диапазон длин волн прибора 1−60 нм, спектральное разрешение до 0,028 нм, размер зондирующего пучка на образце 0,32×0,14 мм2, диаметр исследуемых образцов до 500 мм. Потери эффективности монохроматора из-за дополнительных двух отражений по сравнению с роулондовскими схемами скомпенсированы за счет применения двуслойных отражающих покрытий зеркал-коллиматоров и дифракционной решетки и ионной полировки штрихов решетки. Светосила и спектральное разрешение прибора могут быть увеличены в 2−3 раза за счет асферизации зеркал-коллиматоров. По совокупности характеристик рефлектометр существенно превосходит мировые аналоги и может использоваться для решения спектроскопических задач в различных областях физики и химии.
|
Фотография рефлектометра и результат сравнения измеренной спектральной зависимости коэффициентов отражения Mo/Si многослойного зеркала с данными, полученными на синхротроне BESSY-II. |
Авторы:
С.А. Гарахин, И. Г. Забродин, С. Ю. Зуев, И. А. Каськов, И. В. Малышев, А. Н. Нечай, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало — ИФМ РАН;
Публикации:
S.A. Garakhin, et al. Rev. Sci. Instrum. — 2020. 91 (6). 063103.
С.А. Гарахин и др. ЖТФ — 2020. 90 (11). С. 1864−1869.
С.А. Гарахин и др. Квантовая электроника. — 2017. Т.47, № 4, С.385−392.
N.I. Chkhalo, et al. Thin Solid Films — 2016. 598 P. 156−160.
В.О. Догадин и др. Поверхность. — 2015. 7. С. 77−86.