Институт физики микроструктур РАН
- филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН)
|
Приставка для электронной литографии Raith ELPHY PLUS
Подсоединена к сканирующему электронному микроскопу SUPRA 50 VP. Позволяет проводить экспонирование электронным пучком поверхности образцов с нанесенным резистом по виртуальному шаблону, заложенному в управляющий компьютер, что позволяет после проявления получать резистивные маски различной топологии с размерами, которые определяются свойствами резистов.
