Институт физики микроструктур РАН
- филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН)
|
Сканирующий электронный микроскоп Carl Zeiss SUPRA 50 VP
Предназначен для получения изображения поверхности объекта с высоким (1.7 нм при 1 кВ, 3.4 нм при 200 В) пространственным разрешением, а также информации о составе, строении и некоторых других свойствах приповерхностных слоёв. Также имеется возможность работать с непроводящими образцами, используя режим низкого вакуума.
Диапозон низкого вакуума 1-133 Па. Диапозон ускоряющих напряжений 0,1-30 кЭв.
