Институт физики микроструктур РАН
- филиал Федерального государственного бюджетного научного учреждения "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИФМ РАН)
|
Ионно-пучковая обработка подложек
Уникальная установка для асферизации/полировки подложек.
Вернуться в научные направления