Группой ученых ИФМ РАН и ИПФ РАН под руководством зав. отделом многослойной рентгеновской оптики члена-корреспондента РАН Чхало Н.И. создан уникальный стенд, который является прототипом лазерно-плазменного источника рентгеновского литографа нового поколения с рабочей длиной волны 11,2 нм.