Группой ученых ИФМ РАН и ИПФ РАН под руководством зав. отделом
многослойной рентгеновской оптики члена-корреспондента РАН Чхало Н.И.
создан уникальный стенд, который является прототипом лазерно-плазменного
источника рентгеновского литографа нового поколения с рабочей длиной
волны 11,2 нм.